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橢圓偏振測厚儀

橢圓偏振測厚儀

產品型號│◕₪│·: SGC-1A

所屬分類│◕₪│·:測量儀

更新時間│◕₪│·:2020-04-06

簡要描述│◕₪│·:SGC-1A橢圓偏振測厚儀近代科學技術的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛▩₪·,因此▩₪·,測得薄膜厚度和光學引數已變得更加迫切和重要▩│·◕│。在實際工作中▩₪·,常常使用橢圓偏振法來進行測量▩│·◕│。這種方法測量靈敏度和精度較高▩₪·,並且是非破壞性測量▩│·◕│。他能同時測定薄膜的厚度和折射率▩│·◕│。

詳細說明│◕₪│·:

SGC-1A橢圓偏振測厚儀近代科學技術的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛▩₪·,因此▩₪·,測得薄膜厚度和光學引數已變得更加迫切和重要▩│·◕│。在實際工作中▩₪·,常常使用橢圓偏振法來進行測量▩│·◕│。這種方法測量靈敏度和精度較高▩₪·,並且是非破壞性測量▩│·◕│。他能同時測定薄膜的厚度和折射率▩│·◕│。

本產品為手動方式調節儀器▩₪·,測量薄膜的厚度和光學引數▩│·◕│。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結構功能▩₪·,調節方法▩₪·,使使用者可詳細的瞭解橢圓儀的原理結構▩₪·,並培養其動手操作能力▩│·◕│。

SGC-1A橢圓偏振測厚儀引數

編號

名稱

引數

1

測量範圍

1nm-300nm

2

測量ZUI小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數範圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

遊標ZUI小讀數

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg



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